상품명

HS코드

기본세율

한중FTA

RCEP

최혜국대우

반도체 장비 부품

8486.90-9910

17%

-

-

-

분류

원가 비중

부품 예시

적용 장비

기계 부품

(机械类)

약 20~40%

반응 챔버(反应腔), 전송 챔버(传输腔), 전이 챔버(过渡腔), 내장 라이너(内衬), 균일 가스 분배판(匀气盘), 트레이(托盘), 냉각판(冷却板), 베이스(底座), 주조 강철 플랫폼(铸钢平台), 석영·세라믹·실리콘 부품, 정전 척(静电卡盘), 고무 씰(橡胶密封件) 등

대다수 반도체 공정 장비

전기 부품

(电气类)

약 10~20%

RF 전원(射频电源), 매칭 네트워크(射频匹配器), 원격 플라즈마 소스(远程等离子源), 전원공급장치(供电系统), 산업용 PC(工控电脑) 등

대다수 반도체 공정 장비

기전일체형 부품

(机电一体类)

약 10~25%

EFEM, 로봇 암(机械手), 히팅 밴드(加热带), 챔버 모듈(腔体模组), 밸브 모듈(阀体模组), 듀얼스테이션(双工机台), 액침 시스템(浸液系统), 온도 제어 시스템(温控系统) 등

대다수 장비

(일부는 광학 장비에 특화)

가스·액체·진공 시스템

(气/液/真空系统类)

약 10~30%

가스 캐비닛(气柜), 가스 라인(气体管路), 배관용 용접 부품(管路焊接件), 드라이펌프(干泵), 분자펌프(分子泵), 진공 밸브(真空阀门), 유압 밸브(阀门), 커넥터(接头), 필터(过滤器), 액체 배관(液体管路) 등

증착, 식각, 이온주입 장비 및 CMP·세정 장비

계측기기

(仪器仪表类)

약 1~3%

유량계(气体流量计), 진공계(真空压力计) 등

공정 전반에 적용

광학 부품

(光学类)

최대 55% (광학 장비 기준)

광학 소자(光学元件), 격자(光栅), 레이저 광원(激光源), 대물렌즈(物镜) 등

광학 노광기(光刻设备), 측정 장비(量测设备)

기타

약 3~5%

주문 제작 부품, 소모성 부품, 하우징, 커버 등

공정 전반에 적용

연번

국가/지역

2020

2021

2022

2023

2024

금액

증감률

1

일본

1,269,410

1,303,539

1,119,725

984,525

1,133,137

15.1

2

미국

2,621,143

2,874,719

2,100,375

1,399,582

1,091,980

△22.0

3

한국

896,380

894,129

839,945

743,258

1,058,315

42.4

4

대만

303,967

469,090

488,814

330,866

345,690

4.5

5

싱가포르

343,503

433,104

335,559

165,513

278,335

68.2

6

네덜란드

91,081

122,132

111,098

174,517

218,086

25.0

7

독일

51,484

61,637

84,468

152,117

117,810

△22.6

8

오스트리아

57,921

48,201

57,044

91,160

90,061

△1.2

9

말레이시아

59,558

94,887

108,530

47,288

43,256

△8.5

10

베트남

6,297

16,146

16,325

12,020

19,045

58.0

분류

주요 기업

주요 특징

기계류

(机械类)

FORTUNE(富创精密), Pioneer(先锋精密), Tolerance(托伦斯精密), KFMI (江丰电子), Feilihua (菲利华), Thinkon Semiconductor (神工股份) 등

- 정밀 챔버, 라이너, 링 등 다양한 기계 부품을 자체적으로 설계·제조해 중국 반도체 장비 업체 또는 팹에 공급 중

- 중국 국산화율*은 전체적으로 높지만, 고급 공정용 부품(노광기, 건식 식각 등) 국산화율은 아직 낮은 편

*국산화율: 단순한 원재료 국산 사용 비율이 아닌, 반도체 장비 부품을 중국 내 기업이 자체적으로 설계·제조·공급까지 수행한 정도

전기류

(电器类)

INJET Electric(英杰电气), NAURA (北方华创) 등

- RF 전원, 플라즈마 발생장치 등은 기술 장벽이 매우 높은 분야로, 중국은 여전히 외산 의존도가 높음

- INJET는 산업용 전원 기술 기반으로 반도체 RF 전원을 개발 중이나, 현재는 중국 내 태양광/LED 장비 등에 일부 적용되는 초기 단계임

기전일체형 부품

(机电一体类)

U-Precision(华卓精科), SIASUN Robot(新松机器人), Jingyi Automation(京仪自动化) 등

- 진공 로봇, 온도제어장치 등 복합기전 모듈을 중심으로 중국 기업이 점차 기술 격차를 좁혀가는 추세임

- SIASUN은 300mm 웨이퍼 진공 로봇을 개발해 일부 중국 팹에 납품하며, 미국·일본 업체 중심 구조에서 탈피하기 위해 노력 중

가스/액체/진공 시스템

(气体/液体/真空系统类)

Wanye(万业企业), Kinglai Advanced Materials(新莱应材), FORTUNE(富创精密) 등

- MFC, 고순도 배관, 가스박스 등에서 중국 기업의 국산화율은 여전히 약 10% 수준

- Wanye는 싱가포르 Compart Systems 인수를 통해 핵심 MFC 기술 확보, 중국 내 시장점유율 약 12% 확보

계측기기

(仪器仪表类)

Sevenstar(七星流量计), MKS (미국), HORIBA(일본) 등

- 중국의 계측기기 수입 의존도는 매우 높은 편이며, 글로벌 고정밀 계측 부품 시장은 MKS, HORIBA 등 미·일 업체가 주도하고 있음

- 중국 기업들은 기술 내재화를 위해 인수합병 및 국산개발을 시도 중이나, 정밀도·장기 안정성 등에서 한계 존재

광학 부품

(光学类)

GOPPTIX(国望光学), NEPO(国科精密) 등

- GOPPTIX는 중국산 노광기용 ArF 렌즈 시제품(투과율 92%) 개발, 상업화 추진 중

- 글로벌 메이저 장비업체 납품 사례는 전무하며, 정밀 코팅, 양산 안정성 확보까지는 여전히 기술 격차 존재

시기

정책명

주요내용

2023.8.

전자정보제조업 2023~2024년 안정성장 행동계획

(《关于印发电子信息制造业2023-2024年稳增长行动方案的通知》)

- 디지털 경제(数字经济) 수요 대응을 위해 집적회로(集成电路) 및 신형 디스플레이(新型显示) 산업 구조를 최적화하고, 소재·장비·부품 등 전자 정보 공급망의 고급화, 안정성 강화 추진

2023.8.

허타우 심천·홍콩 과학기술혁신 협력구 심천구역 발전계획

(《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》)

- 정보과학기술, 재료과학기술, 생명과학기술 등 핵심 분야를 중심으로, 네트워크·통신, 반도체·집적회로, 스마트 단말, 스마트 센서, 스마트 로봇, 정밀기기, 신소재, 고급 의료기기, 바이오의약, 블록체인 및 양자정보, 세포·유전자 등 융합 산업 육성

- 세계 유수 대학 및 연구기관과의 공동 연구 플랫폼 구축을 지원하며, 디지털 경제 및 금융 슈퍼컴퓨팅 클러스터(数字经济与金融超级计算集群), ‘양자밸리(量子谷)’ 등 인프라를 조성하고, 웨강아오대만구(粤港澳大湾区) 내 과학기술 자원의 심층적 융합 촉진

2022.8.

전력장비 녹색 저탄소 기술혁신 발전 행동계획

(《加快电力装备绿色低碳创新发展行动计划》)

- 2등급 이상 고효율 전동기, 직구동 및 통합형 영구자석/리럭턴스 전동 시스템(直驱与集成式永磁/磁阻电驱动系统), 초고효율 고토크 전동 시스템(超高效大转矩机电系统总成), 스마트 전동기, 마이크로그리드(微电网), 제3세대 반도체 기반 인버터 전원 시스템(第三代半导体变频供电的高效电机系统) 및 전기 구동 장비 개발 중점 추진, 제3세대 반도체 기반 고효율 구동 장비 등 개발 지원

인증 제도 / 표준

인증 기관

설명 / 필요성

(필수) 중국 국가표준 및 강제성 규격

(中国国家标准及强制性规范)

국가표준화관리위(SAC), 국가시장감독관리총국(SAMR)

법정 강제 규격으로, GB/T 5226.33-2017 (반도체 장비 전기안전요구) 등 기준 충족 필수

(권고) ISO 9001 품질경영시스템

(ISO9001质量管理体系认证)

중국질량인증센터(CQC), 중국합격평정국(CNAS)

품질체계 운영 여부는 공급 안정성과 신뢰성 확보의 지표로 간주되며, 주로 고객사에서 요구

(권고) 중국 RoHS 유해물질 제한

(中国RoHS限制使用有害物质)

중국공업정보화부(MIIT)

대형 산업장비 부품은 RoHS 법적 의무 대상에서 제외되나, 고객사 요구에 따라 적용 확대 중